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负性光敏聚酰亚胺的种类及研究进展 -华东理工大学学报(自然科学版)2024年01期

负性光敏聚酰亚胺的种类及研究进展

作者:孙孟冉 罗雄科 陶克文 王义明 王杰 郭旭虹 字体:      

摘要:由于优异的综合性能,负性光敏聚酰亚胺已成为微电子领域不可或缺的材料,根据负性光敏聚酰亚胺结构和合成工艺的不同,总结了其主要种类和研究进展。随着微电子技术的高度集成化和扇出型晶圆级封装技术的发展,(试读)...

华东理工大学学报(自然科学版)

2024年第01期