摘 要:主要探究了关于N-TOPCon电池应用于选择性发射极(SE)技术中的硼扩散和氧化退火工艺。通过设定实验变量,包括无氧推进过程及其所处的硼扩散和氧化退火工艺阶段,进行了方阻、ECV和钝化方面测试验证。在氧(试读)...